本仪器是以光切法测量另件加工表面的微观不平度。其能判断别国家标准GB 1031-68所规定▽3-▽9级表面光洁度。

对于表面划痕、刻线或某些缺陷的深度也可用来进行测量。

光切法特点是在不破坏表面的状况下进行的。是一种间接测量方法。即要经过计算后才能确定纹痕的不平度。

测量范围不平度平均高度值		﹥0.8～1.6微米	>1.6～6.3微米	>6.3～20微米	>20～80微米
表面光洁度级别		9	8～7	6～5	4～3
所需物镜		60倍N.A.0.55	30倍N.A.0.40	14倍N.A.0.20	7倍N.A.0.12
总放大倍数		510×	260×	120×	60×
物镜组件工作距离		0.04mm	0.2mm	2.5mm	9.5mm
视场		0.3mm	0.6mm	1.3mm	2.5mm
摄影装置放大倍数		约6×
测量不平度范围		（0.8～80）微米
不平度宽度	用测微目镜	0.7微米～2.5mm
	用座标工作台	（0.01～13）mm
仪器重量		约23kg
外形尺寸		约180×290×470mm